产品情报

ADTEC Plasma Technology 产品

高周波射频电源

高周波射频电源

  • 设计可承受高反射高耐用的具有高信赖度的产品
  • 提供降低成本的产品
  • 安装了最新的CPU（高速响应性能UP）
  • 支持新的通讯方式 可对应EtherCAT）
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自动阻抗匹配装置　AMVG系列

自动阻抗匹配装置　AMVG系列

  • 可实现高速自动整合
  • 监视史密斯圆图上的腔室阻抗
  • 使用专用软件实时显示，行波，反射波电力功率等
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Mark V Control System

Mark V Control System

  • Mark V控制系统作为主干系统，通用于RF电源，阻抗匹配器以及测试仪器等外围设备。
  • Mark V控制系统的控制速度是传统机型的1000倍，可实现高精度功率输出，形成高精度波形。
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双极直流电源　BP020A

双极直流电源　BP020A

  • 可在一台电源上实现多种输出模式
  • 可实现可变Duty的双极输出
  • 可实现直流及直流脉冲方式输出
  • 搭载高速电弧遮断功能
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微波电源

微波电源

  • 应用于等离子处理设备
  • 不受高电压及振动部产生的散热影响
  • 设置环境也适合广大范围
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